真空設備設計中涉及的檢漏工作

安裝調試過程雖然是真空檢漏工作的主要集中階段，但在一開始的設計中也不容忽視。

首先是確定真空設備的大允許漏率。這點需要根據(jù)真空設備應用的工藝要求、真空設備組成等來確定，并根據(jù)總漏率來確定細節(jié)的允許漏率。

第二，根據(jù)真空設備的允許漏率，初步確定適用的檢漏方法，并作為指導設備設計、加工、調試、驗收的基本原則之一。

第三，還是根據(jù)設備的漏率指標，確定真空設備的密封、連接方式和總體加工精度。

第四，真空容器等涉及結構強度設計時，要考慮相關部件具有對應的耐壓能力、結構強度等。如檢漏時采用加壓法。

第五，選擇零部件結構材料時，要考慮部件是否可能會被工作介質、示漏氣體等腐蝕。

第六，真空設備結構設計中要在設備系統(tǒng)中留有必要的檢漏儀器備用接口，供設備組裝、調試過程中檢漏使用。尤其是在復雜大型真空系統(tǒng)場合，通常采用分段檢漏，因此在系統(tǒng)管路上要設置分段隔離的閥門，并在每一段隔離段上都預留檢漏儀器接口。

第七，零件結構設計時，盡量避免采用可能干擾檢漏工作的設計方案。如真空室內(nèi)螺釘孔不能采用盲孔形式（安裝螺釘后螺孔內(nèi)部空間氣體只能通過螺紋間隙逸出，形成虛漏，延長了系統(tǒng)抽氣時間，也會干擾真空檢漏的正常進行）。

第八，真空設備結構設計中不允許存在連續(xù)雙面焊縫和多層密封圈結構，以免產(chǎn)生“寄生容積”。當只有內(nèi)側焊縫或密封圈有漏孔時，“寄生容積”內(nèi)的氣體會形成虛漏；而當內(nèi)外兩側焊縫或密封圈同時泄漏時，“寄生容積”使氣體穿越雙層焊縫的響應時間過長，導致無法檢漏。

第九，焊接結構設計時，盡量減少總裝后無法檢漏的焊縫。

上面9點就是在真空設備設計中即需要引起注意的工作內(nèi)容，未雨綢繆，以減少后期真空空檢漏工作的難度。

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